真空泵流量计算
2018-02-01 11:20 来源:网站原创 作者:秩名 点击: 次
真空泵流量计算:
吸附泵的吸附材料在单位时间和单位面积内捕捉到的分子数和入射频度F相等。F和分子密度n、分子平均速度v的关系为
非蒸发型吸附泵的工作原理及抽速计算公式:F=nu/4假设吸附材料的面积是A、吸附期间分子密度n保持不变,则Δt时间内吸附的气体分子数 ΔN等于FAΔt,即
非蒸发型吸附泵的工作原理及抽速计算公式:△N=nu/4*A△t
△N=△Vn
则排气速度S为
非蒸发型吸附泵的工作原理及抽速计算公式:S=△V/△t=Av/4因此排气速度S取决于分子的平均速度和吸附材料的面积(泵的有效开口)。考虑实际上真空泵的吸附效率H,上式应改为
非蒸发型吸附泵的工作原理及抽速计算公式:S=HAv/4
针对20℃的空气(相对分子质量为29,v=464m/s),则
非蒸发型吸附泵的工作原理及抽速计算公式:S=11.6HA 【L/s】 (A:cm2)
如果有效开口面积A为20cm2,效率 H 为30%,则S=70L/s。
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